Пневмоприводный сильфонный насос FA-40
Особенности серии FA
Есть две стандартизированные модели; FA-2E, боковой тип для низкой скорости потока, и FA-40VEW, вертикальный тип для высокой скорости потока. FA-2E использует систему распыления для обработки одной пластины, а FA-40VEW подходит для очистки 200/300 мм пластин.
Используются толстые сильфоны Н-образной формы (только FA-40VEW). Они имеют отличную стойкость к высокому давлению и длительный срок службы, чтобы выдерживать непрерывную длительную работу. При подключении к специальному контроллеру разряд можно легко контролировать и контролировать.
Характеристики
Диапазон температуры жидкости
5 – 100˚C
Максимальная пропускная способность
40 L/min
Основные материалы
PTFE, PFA
Макс. диапазон давления слива
0.4 MPa
Макс. расход воздуха
200 NL/min
Макс. скорость хода
80 spm