zakaz@dosatec.ru

Химический пополняющий насос CFD

Производитель: IWAKI
Код товара: CFD
Доступность: На складе

0
  • Цена по запросу




Особенности серии CFD

  • Улучшение разрешения
Разрешение CFD-1T-B значительно улучшено по сравнению с нашими существующими моделями. Минимальный расход 1 мл / дробь обеспечивает большую точность контроля химической конденсации, которая требуется в процессе очистки пластин. CFD-1T-B всегда подает правильное количество химического вещества без перерегулирования, устраняя избыточные потери жидкости. Кроме того, антисифонный механизм предотвращает непреднамеренное сифонирование.

  • Коррозионностойкие мокрые концы
Фторопластовые мокрые концы (PTFE, PFA, PCTFE) способны обрабатывать сильные кислоты, щелочи и перекись водорода, необходимые для обработки полупроводников.
PTFE, PFA, PP, PVC внешние части и винты с покрытием PTFE обеспечивают дополнительную защиту от химического воздействия.
Регулировка расхода
Просто откройте нижнюю крышку, чтобы легко отрегулировать длину хода, чтобы получить от 1,0 до 2,7 мл / выстрел. (Заводское значение по умолчанию - 1,0 мл / выстрел)
 
  • Датчик утечки
Каждый блок оборудован датчиком утечки, чтобы немедленно обнаружить любую утечку.

Характеристики

Диапазон температуры жидкости 20 – 60℃
Максимальная пропускная способность 1 mL/shot
Основные материалы PTFE, PFA, PCTFE
Макс. диапазон давления слива 0.05 MPa
Макс. скорость хода 30 spm
Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
Captcha